[发明专利]一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶装置在审
| 申请号： | 202110323704.2 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN113182137A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 李留臣;程绪高;周洁;周正星 | 申请（专利权）人： | 江苏星特亮科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10;B05C11/02;B05C5/02;B05C13/02 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 刘鑫 |
| 地址： | 215627 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶装置，包括机架、转动的设于机架上的且内部设有第一腔体的转轴、连接在转轴顶端的且内部设有与第一腔体连通的第二腔体的吸盘、设于吸盘上方的石墨籽晶座、设于机架上的且用于驱动转轴转动的第一驱动机构、与第一腔体连通的抽气机构；吸盘中设有连通在第二腔体上方的真空吸孔，真空吸孔的上端穿出吸盘且位于石墨籽晶座下方；装置还包括设于石墨籽晶座上方的注胶机构和刮胶机构、设于机架上的且用于驱动注胶机构和刮胶机构同步沿竖直方向和/或水平方向运动的第二驱动机构；注胶机构用于定量供胶；刮胶机构包括相互连接的刮板和振动器。本发明装置能够提高碳化硅籽晶与石墨籽晶座之间的粘接质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 籽晶 涂胶 装置 | ||
【主权项】：
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