[发明专利]可变电容器在审
| 申请号： | 202110317371.2 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113066872A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 孙超;田武;江宁;钟灿;薛磊 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L29/94 | 分类号： | H01L29/94;H01L29/49 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 杨锡劢;刘柳 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种可变电容器包括半导体衬底、阱区和栅电极。所述阱区设置于所述半导体衬底中。所述栅电极设置在所述半导体衬底上，所述栅电极在所述半导体衬底的横截方向上与所述阱区的一部分重叠。所述栅电极的导电类型与所述阱区的导电类型互补，用于改善所述可变电容器的电气性能。 | ||
| 搜索关键词： | 可变电容器 | ||
【主权项】：
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