[发明专利]用于调幅探针卡缓冲结构的限位气缸蓄力组件有效
申请号: | 202110315512.7 | 申请日: | 2020-10-11 |
公开(公告)号: | CN113109605B | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
发明(设计)人: | 王艾琳;赵梁玉 | 申请(专利权)人: | 强一半导体(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;G01R1/04;G01R31/26;G01R31/28 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于探针卡技术领域,尤其涉及一种用于调幅探针卡缓冲结构的限位气缸蓄力组件;该组件包括缓冲筒、活塞块、活塞块顶杆、导向杆、导向杆滑筒、滑筒弹簧、滑筒推杆、滑筒锁和滑筒锁弹簧;将本发明用于调幅探针卡缓冲结构,通过缓冲托板和缓冲垫,将驱动气缸和限位气缸与探针卡隔离,减小震动,同时将驱动气缸与驱动滑块、限位气缸与限位滑块之间设置缓冲结构,减小气缸伸出时产生的震动。 | ||
搜索关键词: | 用于 调幅 探针 缓冲 结构 限位 气缸 蓄力 组件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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