[发明专利]用于调幅探针卡缓冲结构的限位气缸蓄力组件

说明书

本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种用于调幅探针卡缓冲结构的限位气缸蓄力组件；该组件包括缓冲筒、活塞块、活塞块顶杆、导向杆、导向杆滑筒、滑筒弹簧、滑筒推杆、滑筒锁和滑筒锁弹簧；将本发明用于调幅探针卡缓冲结构，通过缓冲托板和缓冲垫，将驱动气缸和限位气缸与探针卡隔离，减小震动，同时将驱动气缸与驱动滑块、限位气缸与限位滑块之间设置缓冲结构，减小气缸伸出时产生的震动。

本申请是发明专利申请《一种用于调幅探针卡的缓冲结构及其蓄力组件》的分案申请。

原案申请日：2020-10-11。

原案申请号：2020110810157。

原案发明名称：一种用于调幅探针卡的缓冲结构及其蓄力组件。

技术领域

本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及用于调幅探针卡缓冲结构的限位气缸蓄力组件。

背景技术

随着半导体工业的发展，越来越多的电子装置被接入在半导体晶圆上，在半导体器件的制作过程中，将探针与半导体晶圆上的金属端接触，实现临时的电连接，使测试仪的电信号通过探针传输到半导体器件，测试仪通过返回的电信号对半导体晶圆上的电子装置进行检测。

探针卡是连接半导体晶圆与测试仪之间的纽带，通过将多个探针集成在探针卡上，使多个探针同时与半导体晶片上的多个半导体器件同时接触，提高检测效率。

在半导体器件的生产过程中，需要多次对一个或多个装置内的大量电路触点进行访问，通过移动机构对探针卡进行移动，使探针与触点接触，同时，为匹配检测过程中的多组触点，探针卡需要设置多个，由固持器对探针卡进行固定，固持器为能够旋转的多面体，通过在每个面上设置一个或多个探针卡，或设置多个可移动的平台对探针卡进行移动，实现探针卡与不同触点组的匹配，通过对探针卡的互换实现匹配，单个探针卡无法通用，无法吸收驱动调幅时产生的震动。

发明内容

本发明克服了上述现有技术的不足，提供了一种用于调幅探针卡的缓冲结构及其蓄力组件，能够调整探针的检测幅度，使单个探针卡具有通用性，减少在驱动调幅时产生的震动。

本发明的技术方案：

一种调幅探针卡，包括探针、探针板、电路板和调幅结构，所述的探针被固定设置在探针板上，探针的一端连接至电路板，探针的另一端被夹持在调幅结构上；

所述的探针包括：探针头、弯曲导线和固定导线，所述探针头的一端为用于检测的圆形探头，探针头的中部被夹持在调幅结构上，探针头的另一端与弯曲导线的一端连接，该弯曲导线的中间为被弯曲的弹性结构，弯曲导线的另一端与固定导线的一端连接，固定导线的中间被固定在探针板上，固定导线的另一端与电路板连接；

所述的调幅结构包括：固定板、调幅板、调幅连接板、簧片、调幅夹板、调幅轴、主辊和偏心辊，所述的固定板与电路板固定连接，所述的调幅板上端固定连接在调幅连接板上，调幅板的下端垂直依次穿过固定板、电路板和探针板后与探针固定连接，所述调幅连接板的下端与固定板之间设置有簧片，调幅连接板的侧面通过调幅夹板夹持，构成垂直于固定板方向的滑动结构，所述调幅连接板的上方设置有调幅轴，调幅轴上设置有主辊和偏心辊；

多个所述的调幅连接板沿所述的探针设置，其中一个所述的调幅连接板与一个主辊对应设置，剩余的调幅连接板均与一个偏心辊对应设置；

所述主辊为同轴设置在调幅轴上的圆辊，所述偏心辊内部设置有一个虚拟圆，偏心辊的边缘处设置有到达该虚拟圆的偏心缺口，若干个偏心辊沿着从主辊至远离主辊的方向，偏心辊上的偏心缺口依次增大，且多个偏心缺口的一侧对齐。

进一步地，所述探针板包括：板体、探针槽、压板槽和压板，所述板体上设置有若干容纳探针的探针槽，所述压板槽横穿探针槽设置，所述压板设置在压板槽内，压板与板体固定连接。