[发明专利]用于调幅探针卡缓冲结构的限位气缸蓄力组件有效

专利信息
申请号: 202110315512.7 申请日: 2020-10-11
公开(公告)号: CN113109605B 公开(公告)日: 2022-03-08
发明(设计)人: 王艾琳;赵梁玉 申请(专利权)人: 强一半导体(苏州)有限公司
主分类号: G01R1/067 分类号: G01R1/067;G01R1/04;G01R31/26;G01R31/28
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 用于 调幅 探针 缓冲 结构 限位 气缸 蓄力 组件
【权利要求书】:

1.用于调幅探针卡缓冲结构的限位气缸蓄力组件,其特征在于,所述调幅探针卡缓冲结构设置在驱动结构(6)上,所述驱动结构(6)包括驱动气缸(6-1)、限位气缸(6-2)、驱动气缸滑块(6-3)、限位气缸滑块(6-5);限位气缸蓄力组件连接在限位气缸(6-2)与限位气缸滑块(6-5)之间,用于蓄力缓冲;

所述调幅探针卡缓冲结构包括:缓冲托板(7-1)和缓冲垫(7-2),所述缓冲托板(7-1)上设置有若干个缓冲垫(7-2),所述的驱动气缸(6-1)和限位气缸(6-2)均设置在所述的缓冲垫(7-2)上;

所述限位气缸蓄力组件包括:立板(7-3)、缓冲筒(7-4)、活塞块(7-5)、活塞块顶杆(7-6)、导向杆(7-7)、导向杆滑筒(7-8)、滑筒弹簧(7-9)、滑筒推杆(7-10)、滑筒锁(7-11)和滑筒锁弹簧(7-12);立板(7-3)固定设在缓冲托板(7-1)上,立板(7-3)的一端与缓冲筒(7-4)的上端固定连接,立板(7-3)固定的缓冲筒(7-4)用于连接限位气缸(6-2)和限位气缸滑块(6-5),并吸收限位气缸(6-2)产生的震动;

所述的缓冲筒(7-4)为双筒结构,缓冲筒(7-4)的内部滑动设置有横跨其内部双筒结构的活塞块(7-5),所述的限位气缸(6-2)的伸出端穿过所述立板(7-3)并进入所述缓冲筒(7-4)的一个筒体后与活塞块(7-5)连接,所述活塞块(7-5)的一侧设置有活塞块顶杆(7-6),所述缓冲筒(7-4)的下端与所述活塞块顶杆(7-6)对应设置有滑筒锁(7-11),滑筒锁(7-11)与缓冲筒(7-4)的内壁之间设置有滑筒锁弹簧(7-12),滑筒锁(7-11)的上端设置有与所述活塞块顶杆(7-6)配合的第一锁舌,滑筒锁(7-11)的左端设置有延伸至所述导向杆滑筒(7-8)滑动路径上的第二锁舌,在限位气缸(6-2)的伸出端推动活塞块(7-5)向下滑动,直至活塞块(7-5)滑动至缓冲筒(7-4)内部的滑槽结构底部时,活塞块顶杆(7-6)能够与滑筒锁(7-11)的第一锁舌接触,进而向右推动滑筒锁(7-11),使滑筒锁(7-11)的第二锁舌与导向杆滑筒(7-8)分离,解除对导向杆滑筒(7-8)的锁定;

所述活塞块(7-5)上还设置有导向杆(7-7),导向杆(7-7)上套接有导向杆滑筒(7-8),且导向杆(7-7)与导向杆滑筒(7-8)之间设置有滑筒弹簧(7-9),导向杆滑筒(7-8)的下端设置有滑筒推杆(7-10);滑筒推杆(7-10)与所述限位气缸滑块(6-5)连接;滑筒弹簧(7-9)使导向杆(7-7)与导向杆滑筒(7-8)保持连接,在限位气缸(6-2)的伸出端向下运动时,滑筒弹簧(7-9)被压缩,吸收限位气缸(6-2)产生的冲击,在滑筒锁(7-11)的第二锁舌与导向杆滑筒(7-8)分离后,滑筒弹簧(7-9)向下推动导向杆滑筒(7-8),使滑筒推杆(7-10)推动限位气缸滑块(6-5)滑动,在限位气缸(6-2)的伸出端向上运动时,滑筒弹簧(7-9)向上拉动导向杆滑筒(7-8),直至导向杆滑筒(7-8)的下端滑过滑筒锁(7-11)的第二锁舌,并再次被锁定。

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