[发明专利]在线大气等离子处理系统在审
申请号: | 202110305547.2 | 申请日: | 2021-03-23 |
公开(公告)号: | CN112908814A | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 谭健 | 申请(专利权)人: | 深圳市神州天柱科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/08 | 分类号: | H01J37/08;H01J37/32 |
代理公司: | 深圳壹舟知识产权代理事务所(普通合伙) 44331 | 代理人: | 寇闯 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明适用于等离子处理领域,提供了一种在线大气等离子处理系统,包括机体、自动送料平台、线性模组和电线收纳链,其中,所述机体为双层结构,包括储存仓和加工仓,所述储存仓位于下层,所述加工仓位于上层。本发明通过将现有产品中双头单向吹扫的等离子喷头改为四头双向吹扫,解决了在等离子处理工件时存在吹扫死角的问题。 | ||
搜索关键词: | 在线 大气 等离子 处理 系统 | ||
【主权项】:
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