[发明专利]在线大气等离子处理系统在审

专利信息
申请号: 202110305547.2 申请日: 2021-03-23
公开(公告)号: CN112908814A 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 谭健 申请(专利权)人: 深圳市神州天柱科技有限公司
主分类号: H01J37/08 分类号: H01J37/08;H01J37/32
代理公司: 深圳壹舟知识产权代理事务所(普通合伙) 44331 代理人: 寇闯
地址: 518000 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 在线 大气 等离子 处理 系统
【说明书】:

发明适用于等离子处理领域,提供了一种在线大气等离子处理系统,包括机体、自动送料平台、线性模组和电线收纳链,其中,所述机体为双层结构,包括储存仓和加工仓,所述储存仓位于下层,所述加工仓位于上层。本发明通过将现有产品中双头单向吹扫的等离子喷头改为四头双向吹扫,解决了在等离子处理工件时存在吹扫死角的问题。

技术领域

本发明属于等离子处理领域,尤其涉及一种在线大气等离子处理系统。

背景技术

等离子处理是一种高科技技术,也叫等离子表面处理仪,利用等离子体对板材表面进行加工处理,等离子体也叫做物质的第四态,它是通过对气体施加足够的能量使之离子化而产生,等离子体的“活性”组分包括离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等,等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质来处理基片表面,从而实现在板材表面镌刻、打印等目的。现有的等离子处理设备通常为一侧设置两个等离子喷头,单向吹扫,这种吹扫模式容易存在处理死角,使得待处理工件无法被完全处理,工件表面的达应值不均匀。另外,现有产品还存在达应值时效性过低的问题。

发明内容

本发明实施例提供了一种在线大气等离子处理系统,旨在解决现有产品中存在吹扫死角、处理后工件表面达应值低的问题。

本发明实施例是这样实现的,一种在线大气等离子处理系统,包括机体、自动送料平台、线性模组和电线收纳链,其中,所述机体为双层结构,包括储存仓和加工仓,所述储存仓位于下层,所述加工仓位于上层。

进一步地,所述储存仓体积小于所述加工仓体积。

进一步地,所述线性模组包括等离子喷头、滑轨、电机、安装垫片和支撑片,所述等离子喷头沿所述滑轨滑动。

进一步地,所述滑轨平行水平并排布置。

进一步地,每个所述线性模组包括两个所述等离子喷头,所述等离子喷头通过所述安装垫片安装于所述滑轨两侧。

进一步地,所述等离子喷头数目一共为八个,四个位于自动送料平台上方,另外四个位于所述自动送料平台下方,位于上方的所述等离子喷头喷嘴朝下,所述位于下方的所述等离子喷头喷嘴朝上。

进一步地,所述等离子喷头喷嘴可360度旋转。

进一步地,所述自动送料平台为双层滚轮结构。

进一步地,所述储存仓包括用于放置线性模组的第一腔体和用于放置电器元件的第二腔体。

进一步地,还包括操作按钮、触摸屏、报警灯和万向轮。

本发明具有以下有益效果:通过将现有产品中双头单向吹扫的等离子喷头改为四头双向吹扫,解决了在等离子处理工件时存在吹扫死角的问题,同时,改为四头双向吹扫后对工件表面的吹扫次数增加,多次吹扫工件表面进一步增加了表面达应值。另外,与现有产品相比,本发明清洗效果好,达应值≥48,时效性在7天左右。

附图说明

图1是本发明实施例提供的在线大气等离子处理系统整体示意图;

图2是本发明实施例提供的在线大气等离子处理系统下仓体内部示意图;

图3是图2的另一视角图;

图4是在线大气等离子处理系统的内部示意图;

图5是在线大气等离子处理系统的加工仓内部示意图;

图6是在线大气等离子处理系统的线性模组结构示意图;

图7是在线大气等离子处理系统的线性模组的俯视图。

具体实施方式

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