[发明专利]描画装置、数据处理装置、描画方法、以及描画数据生成方法在审
| 申请号： | 202110293334.2 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113448177A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 鉈落信也;八坂智;增田胜太;中津智史 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇;宋晓宝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 数据处理装置生成表示以初始网格宽度对初始描画数据所表示的初始描画区域进行分割而得到的多个第一网格区域的各描画内容的第一分割数据，基于第一基板的对准标记的位置，根据重新配置后的各第一网格区域的位置，对各第一网格区域的描画内容进行合成，生成第一描画数据。数据处理装置生成表示以比初始网格宽度大的网格宽度对第一描画数据所表示的第一描画区域进行分割而得到的多个第二网格区域的各描画内容的第二分割数据，基于第二基板的对准标记的位置，根据重新配置后的各第二网格区域的位置，对各第二网格区域的描画内容进行合成，生成表示包含规定图案的第二描画区域的第二描画数据。 | ||
| 搜索关键词： | 描画 装置 数据处理 方法 以及 数据 生成 | ||
【主权项】：
暂无信息
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