[发明专利]碱溶性丙烯酰胺树脂及含其的金属剥离胶组合物有效
| 申请号： | 202110290025.X | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN115109182B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 秦龙 | 申请（专利权）人： | 儒芯微电子材料（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/56 | 分类号： | C08F220/56;C08F220/54;C08F220/06;C08F220/14;C08F220/28;C08F220/60;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海熠涧知识产权代理有限公司 31442 | 代理人： | 林高锋 |
| 地址： | 201206 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种碱溶性丙烯酰胺树脂，其由非N‑取代丙烯酰胺单体或其衍生物、N‑取代丙烯酰胺单体或其衍生物、丙烯酸类单体或其衍生物和丙烯酸酯类单体或其衍生物共聚而成。本申请还涉及如上所述的碱溶性丙烯酰胺树脂的制备方法及一种金属剥离胶组合物，该组合物由上述主体树脂、增感剂、感光剂和光刻胶溶剂配制而成，能够广泛应用于金属剥离工艺。本申请不仅极大简化了树脂生产工艺流程，所述金属剥离胶组合物可用常规去边溶剂进行去边，软烘后原位酰胺化成环，使薄膜在有机溶剂中可以达到阻溶效果，而且解决了实际量产光刻工艺中所产生的涂覆缺陷问题。 | ||
| 搜索关键词： | 碱溶性 丙烯酰胺 树脂 金属 剥离 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于儒芯微电子材料（上海）有限公司，未经儒芯微电子材料（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110290025.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
