[发明专利]碱溶性丙烯酰胺树脂及含其的金属剥离胶组合物有效

专利信息
申请号: 202110290025.X 申请日: 2021-03-18
公开(公告)号: CN115109182B 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 秦龙 申请(专利权)人: 儒芯微电子材料(上海)有限公司
主分类号: C08F220/56 分类号: C08F220/56;C08F220/54;C08F220/06;C08F220/14;C08F220/28;C08F220/60;G03F7/004
代理公司: 上海熠涧知识产权代理有限公司 31442 代理人: 林高锋
地址: 201206 上海市浦东新区*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 碱溶性 丙烯酰胺 树脂 金属 剥离 组合
【权利要求书】:

1.一种碱溶性丙烯酰胺树脂,其特征在于,该碱溶性丙烯酰胺树脂由非N-取代丙烯酰胺单体或其衍生物、N-取代丙烯酰胺单体或其衍生物、丙烯酸类单体或其衍生物和丙烯酸酯类单体或其衍生物共聚而成,所述碱溶性丙烯酰胺树脂具有如通式(1)所示的结构:

在上述通式(1)中,x表示用于合成该碱溶性丙烯酰胺树脂的非N-取代丙烯酰胺单体或其衍生物的摩尔数;y表示用于合成该碱溶性丙烯酰胺树脂的N-取代丙烯酰胺单体或其衍生物的摩尔数、z表示用于合成该碱溶性丙烯酰胺树脂的丙烯酸类单体或其衍生物的摩尔数、w表示用于合成该碱溶性丙烯酰胺树脂的丙烯酸类单体或其衍生物的摩尔数,其中x:y:z:w=1:(0.1~3.5):(0.1~3):(0.6~6);

R1、R2、R3、R4各自独立地为H或者具有1-4个碳原子的烷基基团;

R5为下述基团中的任意一种:具有1-10个碳原子的直链烷基基团、具有1-10个碳原子的支链烷基基团、具有1-10个碳原子的环状烷基基团、具有1-10个碳原子的醚类基团、具有1-10个碳原子的酯类基团、具有1-10个碳原子的酰胺类基团、具有1-10个碳原子的胺类基团、具有1-10个碳原子的醇类基团、具有1-10个碳原子的酚类基团或者具有1-10个碳原子的芳香类基团;

R6为下述基团中的任意一种:具有1-10个碳原子的直链烷基基团、具有1-10个碳原子的支链烷基基团或者具有1-10个碳原子的环状烷基基团。

2.如权利要求1所述的碱溶性丙烯酰胺树脂,其特征在于,x:y:z:w=0.50:0.05:0.05:0.40、0.30:0.10:0.20:0.40或0.15:0.05:0.20:0.60。

3.如权利要求1或2所述的碱溶性丙烯酰胺树脂,其特征在于,所述N-取代丙烯酰胺单体或其衍生物具有如通式M-1-1至M-1-13中任意一项所示的结构:

4.如权利要求1或2所述的碱溶性丙烯酰胺树脂,其特征在于,所述丙烯酸酯类单体或其衍生物具有通过如通式M-2-1至M-2-17中任意一项所示的结构:

5.如权利要求1所述的碱溶性丙烯酰胺树脂,其特征在于,所述碱溶性丙烯酰胺树脂为下述中的任意一种:

或者

6.一种如权利要求1-5中任一项所述的碱溶性丙烯酰胺树脂的制备方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:

S1:将预定摩尔比例的非N-取代丙烯酰胺单体或其衍生物、N-取代丙烯酰胺单体或其衍生物、丙烯酸类单体或其衍生物和丙烯酸酯类单体或其衍生物溶于反应溶剂中,然后在惰性气体保护下加热至50-120℃,随后向反应体系中加入引发剂,在50-120℃下且在搅拌条件下反应5-36h,得到第一反应混合物;

S2:使所述第一反应混合物在极性溶剂中析出沉淀物,干燥后得到所述碱溶性丙烯酰胺树脂。

7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,在步骤S1中,所述反应溶剂选自下述中一种或多种:四氢呋喃、二氧六环、二甲亚砜、N,N-二甲基甲酰胺、甲苯、二甲苯和氯苯;

所述引发剂选自下述中一种或多种:偶氮二异丁腈、偶氮二异戊腈和过氧化二苯甲酰(BPO);

在步骤S2中,所述极性溶剂为甲醇或水。

8.如权利要求7所述的方法,其特征在于,所述引发剂占单体总摩尔数的0.02%-5%。

9.一种金属剥离胶组合物,其特征在于,以重量百分比为基准计,所述金属剥离胶组合物包含:(a)如权利要求1所述的碱溶性丙烯酰胺树脂;(b)增感剂;以及(c)光刻胶溶剂;其中所述增感剂为含有酚结构的有机化合物。

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