[发明专利]用于通过多个带电粒子细束来检查样品的带电粒子束装置

摘要

用于通过多个带电粒子细束来检查样品的带电粒子束装置。本发明涉及一种通过多个带电粒子细束来检查样品的方法。所述方法包括以下步骤：提供样品；提供多个带电粒子细束并将所述多个带电粒子细束聚焦到所述样品上；以及检测响应于所述多个带电粒子细束的所述辐照而从所述样品发出的辐射通量。此处，所述多个带电粒子细束聚焦到所述样品上成为细束图案，其中所述细束图案包括多个间隔开的细束光点，且其中所述细束光点在第一方向上间隔开且相邻细束光点之间的间隔构成细束间光点距离。如本文所定义，所述方法包括以下步骤：使所述细束图案在所述第一方向上移动且移动距离超过所述细束间光点距离而到达多个彼此不同的细束图案位置。通过检测相应的辐射通量，可以将一个或多个样品特征对应至所述样品。