[发明专利]一种晶圆扫描用喷嘴及其系统与应用

摘要

本申请公开了一种晶圆扫描用喷嘴及其系统与应用，包括喷嘴主体、喷嘴外腔、抽气嘴和匀气网，所述喷嘴主体作为主要输送管道，喷嘴主体底部连接匀气网一端，匀气网另一端与喷嘴外腔底部相连，喷嘴外腔顶部与喷嘴主体相连，所述喷嘴外腔与匀气网和喷嘴主体中间的部分形成抽气腔，抽气嘴一端设在喷嘴外腔上并与抽气腔相连，抽气嘴另一端往外连接真空设备、负压设备或尾排口。由于匀气网的匀气调节作用，使得更大面积的液的受到不同作用的负压吸附作用，使得大面积的液珠不会脱落，达到期望使用的大面积喷涂的效果；并且，通过调压控压系统可实现液滴的大小控制，满足多种需求。