[发明专利]一种片盒的位置校准设备在审
| 申请号： | 202110282649.7 | 申请日： | 2021-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN113063379A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 尹子剑;赵海洋 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00;G01B21/22 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 施敬勃 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开一种片盒的位置校准设备，包括支撑板组件、调整机构和检测机构，其中，支撑板组件连接调整机构，支撑板组件用于承载片盒；检测机构用于检测片盒的实际位置；调整机构用于在检测机构检测到实际位置不在预设位置的情况下，驱动片盒在支撑板组件上进行偏摆运动和/或平移运动，以使片盒从实际位置运动至预设位置。本申请能够实现对片盒的准确定位，进而保证取片位置的准确，有效防止取片失败或者机械手撞片等异常。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 位置 校准 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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