[发明专利]一种片盒的位置校准设备在审
申请号: | 202110282649.7 | 申请日: | 2021-03-16 |
公开(公告)号: | CN113063379A | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
发明(设计)人: | 尹子剑;赵海洋 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | G01B21/00 | 分类号: | G01B21/00;G01B21/22 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 施敬勃 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 位置 校准 设备 | ||
1.一种片盒(23)的位置校准设备,其特征在于:包括支撑板组件(19)、调整机构和检测机构,其中:
所述支撑板组件(19)连接所述调整机构,所述支撑板组件(19)用于承载所述片盒(23);
所述检测机构用于检测所述片盒(23)的实际位置;
所述调整机构用于在所述检测机构检测到所述实际位置不在预设位置的情况下,驱动所述片盒(23)在所述支撑板组件(19)上进行偏摆运动和/或平移运动,以使所述片盒(23)从所述实际位置运动至所述预设位置。
2.根据权利要求1所述的位置校准设备,其特征在于,所述检测机构包括角度检测设备,所述角度检测设备用于检测所述片盒(23)的实际角度,所述实际位置包括所述实际角度,所述预设位置包括预设角度;
所述调整机构包括偏摆调整机构(P),所述偏摆调整机构(P)与所述支撑板组件(19)相连,所述支撑板组件(19)具有轴线;
所述偏摆调整机构(P)用于在所述实际角度不为所述预设角度时,驱动所述支撑板组件(19)绕所述轴线转动,以使所述片盒(23)随所述支撑板组件(19)进行所述偏摆运动,并使所述片盒(23)从所述实际角度摆动至所述预设角度。
3.根据权利要求2所述的位置校准设备,其特征在于:所述轴线包括互为相交的第一轴线(OX)和第二轴线(OY),
所述偏摆调整机构(P)可驱动所述支撑板组件(19)绕所述第一轴线(OX)或所述第二轴线(OY)进行转动。
4.根据权利要求3所述的位置校准设备,其特征在于:所述位置校准设备还包括支撑杆组件(12)和底板(1),所述底板(1)和所述支撑板组件(19)间隔设置,所述支撑杆组件(12)的第二端转动连接于所述支撑板组件(19),所述支撑杆组件(12)的第一端转动连接于所述底板(1);
所述偏摆调整机构(P)包括第三驱动机构(300)和第四驱动机构(400),所述第三驱动机构(300)的第一端连接所述底板(1),所述第三驱动机构(300)的第二端转动连接所述支撑板组件(19);所述第四驱动机构(400)的第一端连接所述底板(1),所述第四驱动机构(400)的第二端转动连接所述支撑板组件(19),第三驱动机构(300)和第四驱动机构(400)均可进行伸缩运动,
所述第三驱动机构(300)的第二端与所述支撑杆组件(12)的第二端的连线构成所述第二轴线(OY);所述第四驱动机构(400)的第二端与所述支撑杆组件(12)的第二端的连线构成所述第一轴线(OX);
所述支撑板组件(19)可随所述第三驱动机构(300)的伸缩运动绕所述第一轴线(OX)进行转动,以及可随所述第四驱动机构(400)的伸缩运动绕所述第二轴线(OY)进行转动。
5.根据权利要求4所述的位置校准设备,其特征在于:所述第三驱动机构(300)包括沿自身伸出方向依次连接的第三伺服电机(15)、第三丝杠(13)、第三滑台(21)和第三拉杆(14);
所述第三驱动机构(300)的第一端通过所述第三伺服电机(15)连接所述底板(1),所述第三驱动机构(300)的第二端通过所述第三拉杆(14)转动连接所述支撑板组件(19),所述第三丝杠(13)的两端分别转动连接所述第三伺服电机(15)和螺旋配合于所述第三滑台(21)。
6.根据权利要求4所述的位置校准设备,其特征在于:所述第四驱动机构(400)包括沿自身伸出方向依次连接的第四伺服电机(18)、第四丝杠(16)、第四滑台(22)和第四拉杆(17);
所述第四驱动机构(400)的第一端通过所述第四伺服电机(18)连接所述底板(1),所述第四驱动机构(400)的第二端通过所述第四拉杆(17)转动连接所述支撑板组件(19),所述第四丝杠(16)两端分别转动连接所述第四伺服电机(18)和螺旋配合于所述第四滑台(22)。
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