[发明专利]一种片盒的位置校准设备

说明书

本申请公开一种片盒的位置校准设备，包括支撑板组件、调整机构和检测机构，其中，支撑板组件连接调整机构，支撑板组件用于承载片盒；检测机构用于检测片盒的实际位置；调整机构用于在检测机构检测到实际位置不在预设位置的情况下，驱动片盒在支撑板组件上进行偏摆运动和/或平移运动，以使片盒从实际位置运动至预设位置。本申请能够实现对片盒的准确定位，进而保证取片位置的准确，有效防止取片失败或者机械手撞片等异常。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种片盒的位置校准设备。

背景技术

片盒的位置校准设备广泛应用于半导体技术领域，比如进行硅取样时，需要将片盒先放置于位置校准设备上调整好水平度，再操作机械手从片盒中取出硅片。

但是目前的片盒位置校准设备，其校准操作都是在取样之前进行，如果取样过程中片盒的位置发生了偏差，则需要人工暂停重新进行调整，这样将会影响生产效率，如果偏差没有被及时发现，可能造成取片失败或机械手撞片，致使硅片或者机械手损坏。

发明内容

本发明公开一种片盒的位置校准设备，以解决目前的位置校准设备无法实时进行位置调整的问题。

为了解决上述问题，本发明采用下述技术方案：

一种片盒的位置校准设备，包括支撑板组件、调整机构和检测机构，其中：所述支撑板组件连接于所述调整机构，所述支撑板组件用于承载所述片盒；所述检测机构用于检测所述片盒的实际位置；所述调整机构用于在所述检测机构检测到所述实际位置不在预设位置的情况下，驱动片盒在所述支撑板组件上进行偏摆运动和/或平移运动，以使所述片盒从所述实际位置运动至所述预设位置。。

本发明采用的技术方案能够达到以下有益效果：

通过在位置校准设备上设置调整机构和检测机构，能够通过检测机构的检测，以及通过调整机构的调整，将片盒的实际位置调整至预设位置，从而实现对片盒的准确定位，进而保证取片位置的准确，有效防止取片失败或者机械手撞片等异常。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为相关技术中采用的位置校准设备结构图；

图2为本发明实施例公开的位置校准设备结构图；

图3为本发明实施例公开的支撑杆组件结构图；

图4为本发明实施例公开的第三驱动机构结构图；

图5为本发明实施例公开的第四驱动机构结构图；

图6为本发明实施例公开的位置校准设备出现偏摆的状态图；

图7为本发明实施例公开的对图6进行偏摆调整之后的状态图；

图8为本发明实施例公开的位置校准设备出现移动的状态图；

图9为本发明实施例公开的对图8进行平移调整之后的状态图。

附图标记说明：

1＇-放置板、2＇-支撑柱、3＇-卡子、4＇-调平螺母、

1-底板、2-第一测距传感器、4-第二测距传感器、3-第三测距传感器、5-角度传感器、

Q-平移调整机构、

100-第一驱动机构、6-第一驱动电机、7-第一丝杠、8-第一滑台、

200-第二驱动机构、9-第二驱动电机、10-第二丝杠、11-第二滑台、

12-支撑杆组件、