[发明专利]用于背面平面视图薄片制备的方法和系统在审
| 申请号： | 202110276123.8 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN113406359A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | J·克拉克;B·劳思;M·勒杜;C·巴格 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01Q30/20 | 分类号： | G01Q30/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 钟茂建;周学斌 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于背面平面视图薄片制备的方法和系统。平面视图薄片的背面由从工件中提取的样品制备。所述样品包括多个器件层和衬底层。在去除覆盖末级器件层的所述衬底层的至少一部分以获得样品表面之后，利用电子束交替扫描与所述样品表面相关的感兴趣区域（ROI）并自发蚀刻所述感兴趣区域，直到所述ROI内的所述末级器件层暴露为止。在所述末级器件层暴露以获得所述平面视图薄片的所述背面之后，可从所述样品背面去除一个或多个器件层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 背面 平面 视图 薄片 制备 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于FEI公司，未经FEI公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110276123.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：显示装置
- 下一篇：生成式文本摘要系统和方法
