[发明专利]尺寸、倾斜角可控的超大高宽比倾斜AFM探针针尖制备方法在审
| 申请号： | 202110273278.6 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN113049853A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 贾宪生;崔波;朱效立 | 申请（专利权）人： | 杭州探真纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市拱*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种尺寸、倾斜角可控的超大高宽比倾斜AFM探针针尖制备方法。该技术方案利用聚焦离子束辐照悬空微纳米金属结构会使微纳米金属结构向上折叠，且折叠家角度和辐照能量相关的特点，在悬臂梁顶端沉积金属薄膜，选择不同聚焦离子束参数辐照悬臂梁外金属结构悬空部位，制备倾斜角度可控的超大高宽比倾斜AFM探针针尖。作为一种全新的大高宽比AFM探针制造方法，本发明一致性可控，适用于多种材料，且方法简单适于大批量生产。作为原子力显微镜的核心构件，本发明产品具有更高的探测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 尺寸 倾斜角 可控 超大 倾斜 afm 探针 针尖 制备 方法 | ||
【主权项】：
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