[发明专利]激光二极管条及其制造方法和波长光束耦合系统在审
申请号: | 202110262560.4 | 申请日: | 2021-03-10 |
公开(公告)号: | CN113517630A | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 冈本贵敏;大野启 | 申请(专利权)人: | 松下知识产权经营株式会社 |
主分类号: | H01S5/32 | 分类号: | H01S5/32;H01S5/323;H01S5/40;H01S5/14 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 柯瑞京 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种激光二极管条及其制造方法和波长光束耦合系统。用于波长光束耦合系统的激光二极管条的制造方法包括:准备氮化物半导体基板(10)的工序,该氮化物半导体基板具有从(0001)面向m轴或a轴的至少一个轴被赋予了大于0°的偏离角的基板面;在氮化物半导体基板(10)上形成层叠构造体的工序,该层叠构造体包含第1导电型包层(21)、活性层(22)及第2导电型包层(23);以氮化物半导体基板(10)具有的偏离角的主轴方向和发射极(13)的波导方向一致的方式,在层叠构造体形成呈条带状排列的多个发射极(13)的工序;从氮化物半导体基板(10)切出具有多个发射极(13)的激光二极管条(20)的工序。 | ||
搜索关键词: | 激光二极管 及其 制造 方法 波长 光束 耦合 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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