[发明专利]激光二极管条及其制造方法和波长光束耦合系统

说明书

本发明提供一种激光二极管条及其制造方法和波长光束耦合系统。用于波长光束耦合系统的激光二极管条的制造方法包括：准备氮化物半导体基板(10)的工序，该氮化物半导体基板具有从(0001)面向m轴或a轴的至少一个轴被赋予了大于0°的偏离角的基板面；在氮化物半导体基板(10)上形成层叠构造体的工序，该层叠构造体包含第1导电型包层(21)、活性层(22)及第2导电型包层(23)；以氮化物半导体基板(10)具有的偏离角的主轴方向和发射极(13)的波导方向一致的方式，在层叠构造体形成呈条带状排列的多个发射极(13)的工序；从氮化物半导体基板(10)切出具有多个发射极(13)的激光二极管条(20)的工序。

技术领域

本发明涉及激光二极管条的制造方法、激光二极管条以及波长光束耦合系统。

背景技术

近年来，在铜、金、树脂等各种各样的材料中，对激光加工的期待提高。例如，在汽车产业中，要求电动化、小型化、高刚性化、设计自由度提高以及生产率提高等，对激光加工的期待非常高。特别是，在电动汽车用的电动机、蓄电池的铜加工中，要求光吸收效率高的蓝紫色～蓝色(波长为350～450nm)的激光光源，为了实现生产率高的加工而需要具备高输出且聚光性高的光束质量的激光光源。

作为聚集多个激光并获得高输出且高光束质量的激光的系统，已知波长光束耦合(WBC(Wavelength Beam Combining))系统。波长光束耦合系统例如记载在专利文献1中。

波长光束耦合系统具有激光二极管条、旋光器单元、透射型或反射型的衍射光栅以及外部谐振镜。在激光二极管条配置射出光的发射极，从发射极的一个端面射出多个光束光。旋光器单元使从激光二极管条射出的多个光束光分别旋转90°，防止具有相近波长的各个光束光相互干涉。在衍射光栅为透射型的情况下，衍射光栅使入射的光束光以由其波长决定的衍射角进行衍射并射出。从衍射光栅射出的光束光入射到外部谐振镜，通过作为部分透射型镜的外部谐振镜而光束光的一部分向衍射光栅的方向垂直反射。由此，由激光二极管条具有的各个发射极、衍射光栅和外部谐振镜的位置关系唯一地决定的波长(有时称为锁定波长)的激光，在激光二极管条的与射出激光的一侧相反的一侧所设置的反射膜和外部谐振镜之间引起光的外部谐振，输出激光。

激光二极管条的各个发射极分别距衍射光栅的相对位置不同，因此以不同的波长引起外部谐振，振荡激光，但通过外部谐振镜被耦合于一点。因此，在波长光束耦合系统中，能够获得将各个发射极数的输出合起来的高输出、高质量的激光。

在先技术文献

[专利文献]

专利文献1：日本特开2015-106707号公报

发明内容

本公开的一方式涉及的激光二极管条的制造方法是用于波长光束耦合系统的激光二极管条的制造方法，包括：准备氮化物半导体基板的工序，该氮化物半导体基板将(0001)面作为面方位，并且具有从(0001)面向m轴或a轴的至少一个轴被赋予了大于0°的偏离角的基板面；在所述氮化物半导体基板上形成层叠构造体的工序，该层叠构造体包含第1导电型包层、活性层以及第2导电型包层；以所述氮化物半导体基板具有的偏离角的主轴方向和发射极的波导方向一致的方式，在所述层叠构造体形成呈条带状排列的多个发射极的工序；和从所述氮化物半导体基板切出具有所述多个发射极的所述激光二极管条的工序。

本公开的一方式涉及的激光二极管条是用于波长光束耦合系统的激光二极管条，具备：氮化物半导体基板，将(0001)面作为面方位，并且具有从(0001)面向m轴或a轴的至少一个轴被赋予了大于0°的偏离角的基板面；层叠构造体，形成在所述氮化物半导体基板上，包含第1导电型包层、活性层以及第2导电型包层；和多个发射极，以所述氮化物半导体基板具有的偏离角的主轴方向和发射极的波导方向一致的方式，呈条带状形成于所述层叠构造体。

附图说明

图1是示出激光二极管条的制造方法的图。

图2是激光二极管条的立体图。