[发明专利]一种新型SAW滤波器的工艺制造流程在审
| 申请号： | 202110254501.2 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113067560A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 王小伟;刘亚娟;汪洋 | 申请（专利权）人： | 上海萍生微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人： | 吴小灿 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种新型SAW滤波器的工艺制造流程，通过在晶圆层上表面的粘合层上采用不同的金属材质形成不同厚度的刻蚀线路件，能够有利于形成可控的良好的电路侧壁形貌，避免因同一材质而产生的对较薄层刻蚀线路件的过度刻蚀，从而提高SAW滤波器产品良率和产量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 saw 滤波器 工艺 制造 流程 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海萍生微电子科技有限公司，未经上海萍生微电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110254501.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
