[发明专利]具有不规则U型金属微结构的反射型太赫兹微流传感器

摘要

本发明公开了一种具有不规则U型金属微结构的反射型太赫兹微流传感器。该太赫兹微流传感器包括衬底和盖层，所述衬底上设有金属平面反射镜，所述盖层上设有金属微结构层，所述金属平面反射镜与金属微结构层之间形成有用于被测液体流通的微流通道，当对被测液体进行测量时，所述被测液体充满所述微流通道，所述金属微结构层包括多个周期性排列的金属微结构，所述金属微结构为不规则U型结构。保障了在每次测量中被测液体的厚度是一样的，进而，避免了由于多次测量中被测液体厚度不同所带来的误差，提高了测量结果的准确性。