[发明专利]一种透镜真空封装方法有效
| 申请号： | 202110247221.9 | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN113036020B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 陈其祥;宋娟;刘中焱;冉崇胜;邓玉仓 | 申请（专利权）人： | 中芯先进半导体（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/48 | 分类号： | H01L33/48;H01L33/58 |
| 代理公司： | 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504 | 代理人： | 罗炳锋 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明区玉*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种透镜真空封装方法，包括以下步骤：在支架的台阶上点一圈胶，将透镜放到支架对应安装位置上，并且随后将装有透镜的支架放入真空共晶炉中；启动真空共晶炉，按照对应胶水的固化温度曲线，在第一预定时间内，升温到预固化温度，并维持第二预设时间，进行短烤预固化；抽取透镜与支架组成的腔体的内部空气；第二预设时间结束后，按照对应胶水的固化温度曲线，在第三预设时间内，升温到长烤固化温度，并维持第四预设时间，进行长烤固化；长烤固化结束后，冷却至室温。本发明提供的一种透镜真空封装方法，通过胶水使透镜与支架紧密粘接在一起，并且腔体内部抽真空，外部压力将透镜紧密压在支架上，增加透镜与支架的连接稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透镜 真空 封装 方法 | ||
【主权项】：
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