[发明专利]一种基于几何相位超构表面的标准相位检测元件在审
| 申请号： | 202110245352.3 | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN113218625A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 陈沐谷;赵茂雄;石磊;肖淑敏;蔡定平 | 申请（专利权）人： | 香港理工大学深圳研究院;复旦大学;哈尔滨工业大学（深圳） |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 朱阳波 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区粤海街道高新*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于几何相位超构表面的标准相位检测元件，包括：基板和设置于所述基板上的相位精准度检测模块和空间分辨率检测模块，所述相位精准度检测模块由具有不同旋转角度的若干第一超构表面组成，所述空间分辨率检测模块由具有不同尺寸和不同间距的若干第二超构表面组成。本发明通过集成不同旋转角度的超构表面来产生多阶相位分布，实现相位测量系统的相位测量精准度检测，通过调节超构表面的整体尺寸和超构表面之间的间距，实现相位测量系统的空间解析度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 几何 相位 表面 标准 检测 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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