[发明专利]光晶体管集成传感核心的无光栅量子点光谱探测器有效

专利信息
申请号: 202110242558.0 申请日: 2021-03-04
公开(公告)号: CN112864270B 公开(公告)日: 2022-09-23
发明(设计)人: 刘向;汤振武;石林;彭正;陈思安;林海鑫 申请(专利权)人: 南京信息工程大学
主分类号: H01L31/113 分类号: H01L31/113
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 苏虹
地址: 210044 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种光晶体管集成传感核心的无光栅量子点光谱探测器,包括基底、栅电极、栅绝缘层、源电极、P型有源层、I型量子点感光层、N型半导体层、漏电极,其中不同波段的量子点可用于为不同像素的晶体管探测器。利用栅极作为行扫描线,通过源漏极作为信号读取线路读取光谱信号,并利用与背景光电信号的差值实现被测物的光谱测量。本发明解决了传统光谱探测器光学分光组件体积过大,光电信号读取分离以及探测波段局限等系列难题,实现了利用量子点的窄带宽光电响应特点以及薄膜晶体管(TFT)光电集成度高的优势,制造出不需要光栅分光的量子点晶体管型的光谱探测器。
搜索关键词: 晶体管 集成 传感 核心 光栅 量子 光谱 探测器
【主权项】:
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