[发明专利]底板的污染防止方法在审
| 申请号： | 202110236189.4 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN113371716A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 岡田哲郎;星野成大;石田昌彦 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 日本国东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的底板的污染防止方法，包括：在具有底板以及覆盖所述底板的盖的反应器内制造多晶硅的工序；从所述底板除去所述盖的工序；以及通过隔离装置隔离包含所述底板的空间的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 底板 污染 防止 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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