[发明专利]一种高效物理气相沉积设备在审
| 申请号： | 202110234314.8 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN113025983A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 黄中山;林保璋;张建锐;王虎斌 | 申请（专利权）人： | 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315100 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高效物理气相沉积设备，仓体内部设置有隔板组件，仓体下表面均匀设置有若干转向伺服电机，转向伺服电机通过丝杠并与射频电磁环外侧的导向块相配合，仓体内部分别设置有第一环形出气管和第二环形出气管，隔板组件的锥形隔板开设有若干通槽，盖板上表面和下表面分别设置有磁控溅射装置及靶材，本发明结构合理，仓体外围设置有可升降的射频电磁环，通过可升降的射频电磁环，可改变电浆的浓度和位置，提高溅射的均匀度及台阶覆盖能力，大大提高沉积效果，仓体内部设置有第一环形出气管和第二环形出气管，保证反应气体均匀进入到仓体内，与靶材离子反应，提高厚膜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 物理 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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