[发明专利]一种新型键合结构声表面波器件及其制备方法有效
| 申请号： | 202110233563.5 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN113014218B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 封琼;许志斌;陆增天 | 申请（专利权）人： | 无锡市好达电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214124 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型键合结构声表面波器件及其制备方法，涉及声表器件领域，由下至上依次包括支撑衬底、组分渐变层、压电基板和叉指换能器，组分渐变层用于提供声波的全反射，组分渐变层靠近衬底一侧的组分声速高于靠近压电基板一侧的组分声速，且组分沿生长方向线性变化。该组分渐变层能够抑制寄生响应的产生，还可以改善键合薄膜质量、提高器件机电耦合系数和耐受功率，且制备方法相对成熟简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 结构 表面波 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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