[发明专利]激光扫描系统和方法在审
| 申请号： | 202110232579.4 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN115016114A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 吴东岷;周珏;谢杰;曾中明;张宝顺 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人： | 仲崇明 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种激光扫描系统和方法，该方法中同时进行MEMS微镜扫描和转镜扫描，其中，对MEMS微镜在振动时产生的正弦反馈信号进行调理，输出第一波形信号；采集转镜扫描过程中镜面的角位移信号并输出第二波形信号；控制第一波形信号和第二波形信号具有相同的频率，且相位差为0。本发明通过MEMS微镜与转镜的同步扫描方案，既能实现较高的扫描频率，也能获得较大的扫描角度。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 扫描 系统 方法 | ||
【主权项】：
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