[发明专利]激光扫描系统和方法在审
| 申请号： | 202110232579.4 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN115016114A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 吴东岷;周珏;谢杰;曾中明;张宝顺 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人： | 仲崇明 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 扫描 系统 方法 | ||
1.一种激光扫描系统，其特征在于，包括MEMS微镜扫描模块和转镜扫描模块，
MEMS微镜扫描模块和转镜扫描模块输出的反馈信号具有相同的频率，且相位差为0。
2.根据权利要求1所述的激光扫描系统，其特征在于，所述的反馈信号为方波信号。
3.根据权利要求2所述的激光扫描系统，其特征在于，所述的MEMS微镜扫描模块包括MEMS微镜、信号放大器、过零比较器和分频器，
MEMS微镜在振动时产生正弦反馈信号，该正弦反馈信号经信号放大器提取，并经过过零比较器得到方波信号，分频器对该方波信号进行分频处理，使其与转镜扫描模块产生的方波信号具有相同频率。
4.根据权利要求2所述的激光扫描系统，其特征在于，所述的转镜扫描模块包括电机和镜面，所述电机连接于镜面并可带动其偏转，
所述的转镜扫描模块还包括传感模块，该传感模块采集镜面的角位移信号并输出方波信号。
5.根据权利要求4所述的激光扫描系统，其特征在于，所述传感模块包括连接于所述电机的光栅码盘以及与所述光栅码盘配合的光电传感器。
6.根据权利要求1或2所述的激光扫描系统，其特征在于，所述的MEMS微镜扫描模块和转镜扫描模块由同一控制模块进行控制。
7.根据权利要求6所述的激光扫描系统，其特征在于，所述控制模块包括主控制器和DDS驱动模块，
DDS驱动模块包括DDS芯片、滤波电路和放大器，DDS芯片与主控制器连接，DDS芯片的输出信号依次经过滤波电路的滤波以及放大器的放大后对MEMS微镜扫描模块进行驱动。
8.一种激光扫描方法，其特征在于，同时进行MEMS微镜扫描和转镜扫描，其中，
对MEMS微镜在振动时产生的正弦反馈信号进行调理，输出第一波形信号；
采集转镜扫描过程中镜面的角位移信号并输出第二波形信号；
控制第一波形信号和第二波形信号具有相同的频率，且相位差为0。
9.根据权利要求8所述的激光扫描方法，其特征在于，所述第一波形信号和第二波形信号为方波信号。
10.根据权利要求8或9所述的激光扫描方法，其特征在于，使用分频器对正弦反馈信号进行分频处理，使其与第二波形信号频率相同。
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