[发明专利]一种控制金属原子活动性的节能环保硅片处理设备在审

专利信息
申请号: 202110231733.6 申请日: 2021-03-02
公开(公告)号: CN113021192A 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 蒋丹 申请(专利权)人: 超安(广州)五金有限公司
主分类号: B24C1/04 分类号: B24C1/04;B24C3/02;B24C9/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 510000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及新型电子元件技术领域,提供一种控制金属原子活动性的节能环保硅片处理设备,包括机体,所述机体的内部固定连接有放置架,放置架的底部固定连接有热敏电阻,热敏电阻的表面活动连接有推块。该控制金属原子活动性的节能环保硅片处理设备,硅片温度到达设定值,热敏电阻的阻值产生相应变化触发驱动机构,驱动机构使推块移动,推块利用联动杆推移推板,推板、弹簧杆对梯形块进行挤压,弧形块对梯形块进行控制,当推块的移动的距离到达设定值,梯形块将弧形块向两侧拨开,梯形块推移活塞,活塞将砂从喷头处喷出,砂对半导体硅片进行冲击损伤,热传递使硅内部金属原子完全移动至损伤处便于处理。
搜索关键词: 一种 控制 金属 原子 活动性 节能 环保 硅片 处理 设备
【主权项】:
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