[发明专利]共面波导结构的制备方法、装置、设备以及超导器件在审
| 申请号： | 202110231228.1 | 申请日： | 2021-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN113517387A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 唐成春 | 申请（专利权）人： | 阿里巴巴新加坡控股有限公司 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24;H01L39/02;H01L39/22 |
| 代理公司： | 北京太合九思知识产权代理有限公司 11610 | 代理人： | 刘戈;孙明子 |
| 地址： | 新加坡珊顿道*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种共面波导结构的制备方法、装置、设备及超导器件。方法包括：获取待刻蚀结构，待刻蚀结构包括位于衬底结构上的铝薄膜和位于铝薄膜上端、用于覆盖铝薄膜的部分区域的光刻胶结构；利用酸性溶液对位于衬底结构上的铝薄膜进行第一次刻蚀操作，获得第一刻蚀后结构；对第一刻蚀后结构进行冲洗，获得中间结构；利用碱性溶液对中间结构进行第二次刻蚀操作，获得第二刻蚀后结构；对第二刻蚀后结构进行冲洗，获得目标结构，目标结构包括位于衬底结构上的铝薄膜和位于铝薄膜上端的光刻胶结构，光刻胶结构覆盖铝薄膜的所有区域。本实施例提供的技术方案，提高了铝基微波波导器件的边缘平整度，保证了超导量子器件生成的质量和效果。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 结构 制备 方法 装置 设备 以及 超导 器件 | ||
【主权项】：
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