[发明专利]一种基于纳米天线的马赫-曾德尔干涉仪有效
| 申请号： | 202110229598.1 | 申请日： | 2021-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN112859477B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 杨可扬;夏军 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G02F1/21 | 分类号： | G02F1/21;G02F1/313;G02F1/13363 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 沈廉 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于纳米天线的马赫‑曾德尔干涉仪。该干涉仪包括下基板(1)、调制器(2)、双折射材料(3)、上基板(4)；所述调制器(2)位于下基板(1)上；所述双折射材料(3)填充于下基板(1)与上基板(4)之间，并包裹调制器(2)；所述调制器(2)的移相器(2‑1)为亚波长纳米天线(2‑2)阵列；光在通过纳米天线(2‑2)时，发生米氏共振，具有高前向散射率的同时获得相位延迟，该相位延迟量由双折射材料的折射率控制；通过调制所述双折射材料的折射率，实现干涉仪的输出强度调制。本发明相较于传统的马赫‑曾德尔干涉仪，调制效率更高，工作速度更快，且与CMOS工艺兼容，有利于器件的集成并节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 纳米 天线 马赫 曾德尔 干涉仪 | ||
【主权项】：
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