[发明专利]一种光学部件的测量方法、系统、装置及设备在审
| 申请号： | 202110202811.X | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN114964720A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 武燕婷;熊伟;李超波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01R27/26 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学部件的测量方法，包括：向所述光学部件输入模拟正弦信号；获取所述光学部件在所述模拟正弦信号作用下的频率与阻抗的关系；基于所述频率与阻抗的关系，确定所述光学部件的谐振频率及所述光学部件等效电路的电学参数；基于所述电学参数，确定所述光学部件的品质因子。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 部件 测量方法 系统 装置 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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