[发明专利]真空计在审
| 申请号： | 202110193213.0 | 申请日： | 2021-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN113358271A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 中井淳也;岸田创太郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 周春燕;金玉兰 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在将传感器部调温为高温的真空计中，为了即使不从外部对该真空计吹风，也能够充分地冷却电路基板，具备：介由连接端口(P)与测量空间连通，并且输出与该测量空间的压力相应的输出信号的传感器部(S)；设置于传感器部(S)的周围而对该传感器部(S)进行加热的加热器(H)；相对于传感器部(S)配置于与连接端口(P)相反的一侧的电路基板(B)；收纳传感器部(S)以及加热器(H)的第一内壳(C1)；收纳电路基板(B)的第二内壳(C2)；包围第一内壳(C1)以及第二内壳(C2)，并且在与这些第一内壳(C1)以及第二内壳(C2)之间形成外气进行流通的流路(L)的外壳(C3)。 | ||
| 搜索关键词： | 真空计 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社堀场STEC，未经株式会社堀场STEC许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110193213.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于关联分析的多标签关系的视频检索方法
- 下一篇：半导体元件及其制备方法
