[发明专利]一种在打孔时方便残留物清理的半导体打孔辅助装置

摘要

本发明涉及半导体加工设备技术领域，且公开了一种在打孔时方便残留物清理的半导体打孔辅助装置，包括壳体，所述壳体的内部固定安装有置物台，所述置物台的内部固定安装有传送装置，所述壳体的内部转动连接有驱动轮，所述驱动轮的正面转动连接有驱动杆。该在打孔时方便残留物清理的半导体打孔辅助装置，通过驱动轮带动吹风管和转头间歇的往复上下运动，实现了打孔和吹风的不间断间歇进行，保证了在打孔时风机不工作，不打孔时风机对孔内的残留物进行清理，无需工作人员进行清理，更加省时省力，而且大大提高了打孔的工作效率，风机的间歇工作，减少了能源的消耗，更加节能环保，并且能够准确的对孔进行清理，清理的效果更佳。