[发明专利]一种基于氮化硅的加热体及其制备工艺在审
| 申请号： | 202110156352.6 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN112851334A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 操险峰 | 申请（专利权）人： | 宁波云川环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/622;C04B41/87 |
| 代理公司： | 浙江中桓联合知识产权代理有限公司 33255 | 代理人： | 朱萍 |
| 地址： | 315800 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明涉及加热体元器件技术领域，特别涉及一种基于氮化硅的加热体及其制备工艺。本发明加热体制备包括以下步骤：S1、对氮化硅基体进行裁切、打磨抛光预处理；S2、将预处理后的氮化硅基体置于烧结炉中于惰性气氛中进行烧结；S3、将反应液通过气压雾化形成小液滴，小液滴通过运载气体转移至预热的氮化硅基体表面，发生热分解形成氧化锡膜包覆于基体表面；S4、对包覆氧化锡膜后的氮化硅基体进行热处理，即得加热体。本发明基于氮化硅的加热体抗压强度高达1300MPa，可承受功率密度高达100W/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 氮化 加热 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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