[发明专利]一种氧化钒缓蚀含氟剥离液、其制备方法及应用在审
| 申请号： | 202110155936.1 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN112859552A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 王溯;冯强强;蒋闯;刘超勇;赖鑫;翟俊杰;邢乃观 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 王卫彬;陈卓 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化钒缓蚀含氟剥离液、其制备方法及应用。具体地，本发明公开了氧化钒缓蚀含氟剥离液在半导体器件中对待剥离材料进行剥离和清洗中的应用，其中所述氧化钒缓蚀含氟剥离液的原料包括下列组分：氟化物、烷醇胺、缓蚀剂、络合剂、直链酰胺类有机溶剂、砜类和/或亚砜有机溶剂、醇醚类有机溶剂、烷酮类有机溶剂、PO‑EO‑乙烯基二元胺共聚物和余量的水，所述的PO‑EO‑乙烯基二元胺共聚物为Tetronic 901、Tetronic 904和Tetronic 908中的一种或多种。本发明的氧化钒缓蚀含氟剥离液能有效去除待剥离材料，且对例如VOX/PI/Ni等材料的光阻材料腐蚀性低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 钒缓蚀含氟 剥离 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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