[发明专利]一种二代高温超导带材金属前驱膜的制备方法有效
| 申请号： | 202110153748.5 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN112962076B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 夏钰东;王其琛;赵睿鹏;欧凯;陶伯万 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18 |
| 代理公司： | 成都华飞知识产权代理事务所(普通合伙) 51281 | 代理人： | 叶任海 |
| 地址： | 610031 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及高温超导材料技术领域，具体涉及一种二代高温超导带材金属前驱膜的制备方法，采用磁控溅射方法制备金属前驱膜，在进行磁控溅射过程中，使用叠成靶作为溅射靶材，叠成靶包括自上而下依次叠加设置的钡靶层、稀土元素靶层和铜靶层。本发明采用的叠成靶由稀土元素(Re，可以是Y，Gd，Sm，Dy)、钡(Ba)和铜(Cu)三种不同金属、不同形状的靶材叠加而成，不需要对易氧化难加工的钡进行精加工，直接将靶材叠通过直流磁控溅射方式就能够制备得到用于制备二代高温超导带材的金属前驱膜，制备成本低，制备薄膜效率高，相比于其他方法制备YBCO薄膜具有更高的性价比，对促进二代高温超导带材的发展和研究具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二代 高温 超导 金属 前驱 制备 方法 | ||
【主权项】：
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