[发明专利]一种三靶共溅射制备第二代高温超导带材的方法在审
| 申请号： | 202110151100.4 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN112962075A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 夏钰东;周静;赵睿鹏;欧凯;陶伯万 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/58 |
| 代理公司： | 成都华飞知识产权代理事务所(普通合伙) 51281 | 代理人： | 叶任海 |
| 地址： | 610031 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及高温超导材料技术领域，具体涉及一种三靶共溅射制备第二代高温超导带材的方法，采用磁控溅射进行制备前驱体预制膜，然后将前驱体预制膜进行氧化处理，得到第二代高温超导带材，在磁控溅射过程中，采用三个溅射枪同时朝向基底进行溅射，三个溅射枪处于同一平面，且溅射枪之间的连线构成正三角形，第一个溅射枪以钡作为靶材，第二溅射枪以铜作为靶材，第三个溅射枪以稀土元素作为靶材。本发明相较于现有技术，提高了靶材的利用率，降低了制备成本，提高了高温超导带材的制备效率；同时制备的前驱体预制膜元素比可控，提高了实验重复性，并且，该方法能够对稀土金属靶材进行掺杂其他金属元素，提升薄膜的钉扎效果，进而提升第二代高温超导带材在磁场下的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三靶共 溅射 制备 第二代 高温 超导 方法 | ||
【主权项】：
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