[发明专利]多线切割晶棒的方法和装置有效
| 申请号： | 202110136709.4 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN112936627B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 孙介楠 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 李斌栋;沈寒酉 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种多线切割晶棒的方法和装置；该方法可以包括：基于待加工晶棒与处于高速往复运动的切割线之间沿竖直方向的相向运动以使所述切割线与所述待加工晶棒接触并对所述待加工晶棒进行切割；在所述切割线对所述待加工晶棒进行切割过程中，控制所述待加工晶棒按照设定的旋转策略绕轴线旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 方法 装置 | ||
【主权项】：
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