[发明专利]掩膜板、显示基板蒸镀组件及显示基板有效
| 申请号： | 202110129038.9 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN112962055B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 姜正文;李文星;李慧;王恩霞;李伟丽;刘明星;甘帅燕 | 申请（专利权）人： | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L21/68;H10K71/10 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 王文 |
| 地址： | 230037 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜板、显示基板蒸镀组件及显示基板，掩膜板用于显示基板的蒸镀，显示基板包括多个显示单元，显示单元包括显示区以及至少部分由显示区环绕的透光区，掩膜板包括与多个显示单元对应的多个掩膜单元，多个掩膜单元包括可对位掩膜单元，可对位掩膜单元包括：显示蒸镀区，显示蒸镀区对应显示单元的显示区，显示蒸镀区设置有多个第一蒸镀开口；透光蒸镀区，透光蒸镀区对应显示单元的透光区，透光蒸镀区设置有对位孔，对位孔用于掩膜板与显示基板的对位。本发明避免了掩膜板上对位孔处易残留清洗药液的问题，使得蒸镀对位时对位孔能够被对位镜头准确抓取。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 显示 基板蒸镀 组件 | ||
【主权项】：
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