[发明专利]用于容纳基板的容器及控制一容器的进气分流方法在审
| 申请号： | 202110123691.4 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN113741153A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 庄家和;薛新民;李怡萱;温星闵;林书弘;邱铭乾 | 申请（专利权）人： | 家登精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 姜璐璐;臧微微 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提出一种用于容纳基板的容器及控制一容器的进气分流方法，包含：一基座，具有至少一第一支撑面；及一盒盖，具有至少一第二支撑与该基座的第一支撑面啮合，借以界定用于容纳该基板的一容纳空间。该基座的第一支撑面与该盒盖的第二支撑面有一致的倾斜度，且该基座的第一支撑面的一平面度与该盒盖的第二支撑面的一平面度皆小于0.04毫米，以在该第一支撑面与该第二支撑面相接触时于其间形成一密封。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 容纳 容器 控制 分流 方法 | ||
【主权项】：
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