[发明专利]一种曝光机玻璃基板表面温度稳定设备在审
| 申请号： | 202110115295.7 | 申请日： | 2021-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN112882352A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 韩永林 | 申请（专利权）人： | 江苏特纳马智能制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城经济*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种曝光机玻璃基板表面温度稳定设备，包括地板与其上方的高架地板，地板端面一侧分别设有第一电控箱、第一控制单元、第二电控箱与第二控制单元，高架地板上端分别设有第一温度控制装置与第二温度控制装置，两个温度控制装置分别通过多根回风管与第一控制单元、第二控制单元连接。本发明的有益效果：通过九组出风单元对玻璃基板进行温度控制，九组出风单元可分区域调整温度，保养成本低，而且维护的时间短，而且为了维持温度的稳定性，特别设计回风循环方式保证了温度的稳定，通过出风单元吹出后再通过回风管道进行回收再循环。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 玻璃 表面温度 稳定 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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