[发明专利]柱形光栅干涉仪及读数头总成装置有效
| 申请号： | 202110067125.6 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112902832B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 伍强;李艳丽 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B9/02015;G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柱形光栅干涉仪及读数头总成装置，其中，读数头总成装置包括：包括读数头总成以及升降机构，在零位状态下，所述旋转平台的转动轴线、所述柱形光栅尺的中心轴线、读数头总成的中心轴线同轴设置，所述升降机构设置在所述读数头总成的底部，用于在所述旋转平台开始转动之前，将所述读数头总成提升至所述柱形光栅尺对应的测量位置，以及在所述旋转平台完成转动之后，将所述读数头总成降低至低于所述柱形光栅尺的底面。本发明采用了柱形光栅尺和读数头总成可升降分离的架构，能够在工位交换转动的过程中，对旋转平台的转动角度进行精密测量，并且在非交换转动状态下，避免读数头总成撞到柱形光栅尺。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 干涉仪 读数 总成 装置 | ||
【主权项】：
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