[发明专利]磷化铟基模斑转换器及其设计方法

摘要

本公开提供了一种磷化铟基模斑转换器，包括：衬底；缓冲层，位于所述衬底之上，用于提供晶格匹配，减少缺陷；InGaAsP与InP周期性排列N层形成的稀释波导层，位于所述缓冲层之上，其中N≥3；垂直楔形结构，位于所述稀释波导层之上，用于模斑转换；脊型波导，位于所述垂直楔形结构之上，用于协同所述垂直楔形结构完成模斑转换功能。本公开涉及的磷化铟基模斑转换器可以实现：高效的光纤‑芯片端面耦合(＞80％)，其中光纤可以是普通单模光纤或透镜光纤；高效的稀释波导‑脊型波导模斑转换(＞90％)。