[发明专利]一种竖直石墨烯基热界面材料及其制备方法、装置有效
| 申请号： | 202110053372.0 | 申请日： | 2021-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN112830478B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 张锦;许世臣;姬楠楠;陈卓 | 申请（专利权）人： | 北京石墨烯研究院;北京大学 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186;C09K5/14 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 吴娅妮;于宝庆 |
| 地址： | 100095 北京市海淀区苏家*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种竖直石墨烯基热界面材料及其制备方法、装置，该方法包括在电场的作用下，通过等离子体增强化学气相沉积工艺制得竖直石墨烯；其中，所述电场的方向与所述竖直石墨烯的生长方向相同。本发明一实施方式的方法，所采用的设备简单，工艺流程简单，可重复性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 竖直 石墨 烯基热 界面 材料 及其 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
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