[发明专利]流量测量装置、流量的测量方法以及流量测量程序

摘要

本发明提供一种流量测量装置、流量的测量方法以及流量测量程序，针对热扩散率不同的测量对象流体，使流量的测量精度进一步提高。流量测量装置具有：用于检测在主流路中流动的测量对象流体的流量的流量检测部、具有对测量对象流体进行加热的加热部以及检测测量对象流体的温度的温度检测部且用于取得测量对象流体的特性值的特性值取得部、以及利用由所述特性值取得部取得的测量对象流体的特性值对基于从所述流量检测部输出的检测信号而算出的测量对象流体的流量进行校正的流量校正部，所述加热部及所述温度检测部在与测量对象流体的流动方向正交的方向上并列而配置，所述特性值取得部利用所述测量对象流体的温度之比来取得所述特性值，所述测量对象流体的温度之比是使所述加热部的温度变化前后的由所述温度检测部检测出的所述测量对象流体的温度之比。