[发明专利]晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法及检测系统在审
| 申请号： | 202110020067.1 | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN114740017A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 周毓婷 | 申请（专利权）人： | 富泰华工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 常云敏 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华新区观澜街道大三*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种晶圆盒内晶圆摆放状态检测方法及检测系统，该检测方法包括：提供一晶圆盒，晶圆盒包括多个并排排列的存储位，每一存储位用于存储晶圆；朝向晶圆盒发射光线，使光线穿过存储位和晶圆之间的间隙；采集光线穿过间隙后形成的光信号并获得图像；对图像进行特征信息提取；将特征信息与预设模型的特征信息进行比对，并根据比对结果判断图像与预设模型是否一致，进而确定晶圆盒内晶圆的摆放状态是否合格。本发明的检测方法能自动快速检测晶圆盒内晶圆的摆放状态。另，本发明还提供一种用于执行上述晶圆盒内晶圆摆放状态检测方法的检测系统。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆盒内晶圆 摆放 状态 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
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