[发明专利]晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法及检测系统

说明书

一种晶圆盒内晶圆摆放状态检测方法及检测系统，该检测方法包括：提供一晶圆盒，晶圆盒包括多个并排排列的存储位，每一存储位用于存储晶圆；朝向晶圆盒发射光线，使光线穿过存储位和晶圆之间的间隙；采集光线穿过间隙后形成的光信号并获得图像；对图像进行特征信息提取；将特征信息与预设模型的特征信息进行比对，并根据比对结果判断图像与预设模型是否一致，进而确定晶圆盒内晶圆的摆放状态是否合格。本发明的检测方法能自动快速检测晶圆盒内晶圆的摆放状态。另，本发明还提供一种用于执行上述晶圆盒内晶圆摆放状态检测方法的检测系统。

技术领域

本发明涉及晶圆检测设备技术领域，尤其涉及一种晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法及检测系统。

背景技术

晶圆封测厂内，传统的晶圆状态检测方法是，晶圆由机械手臂放置于晶圆盒内，上盖后需由检测人员目检晶圆盒内摆放的晶圆数量和位置是否符合规定，同时检测晶圆是否有破片、叠片的情况发生。

但，上述人工检测的方法检测效率低，容易出现漏检、错检的情况；尤其是针对一些半透明的晶圆盒，需要将光线强度增大，才可能看清晶圆盒里晶圆的摆放状态，而长期在强光下进行检测可能对人眼造成视觉损害；另外，针对不透明的晶圆盒无法实现人工检测。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种能够快速有效检测晶圆盒内晶圆的摆放状态是否符合要求的检测方法。

另，本发明还提供一种用于执行上述晶圆盒内晶圆摆放状态检测方法的检测系统。

本发明提供一种晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法，包括以下步骤：

提供一晶圆盒，所述晶圆盒包括多个并排排列的存储位，每一所述存储位用于存储晶圆；

朝向所述晶圆盒发射光线，使所述光线穿过所述存储位和所述晶圆之间的间隙；

采集所述光线穿过所述间隙后形成的光信号并获得图像；

对所述图像进行特征信息提取；以及

将所述特征信息与预设模型的特征信息进行比对，并根据比对结果判断所述图像与所述预设模型是否一致，进而确定所述晶圆盒内晶圆的摆放状态是否合格。

进一步，所述特征信息包括每一存储位内晶圆的数量。

进一步，所述预设模型通过计算机视觉模型训练或AI深度学习模型训练得到。

本发明还提供一种晶圆盒内晶圆摆放状态的检测系统，包括：

晶圆盒，包括多个并排排列的存储位，每一所述存储位用于存储晶圆；

光源模块，设置于所述存储位的一端，所述光源模块用于朝向所述晶圆盒发出光线，使所述光线穿过所述存储位与所述晶圆之间的间隙；

图像采集模块，设置于所述存储位远离所述光源模块的一侧，所述图像采集模块用于采集所述光线穿过所述间隙后形成的光信号并获得图像；

识别模块，用于接收所述图像，并对所述图像进行特征信息提取；

判断模块，用于将所述特征信息与预设模型的特征信息进行比对，并根据比对结果判断所述图像与所述预设模型是否一致，进而确定所述晶圆盒内晶圆的摆放状态是否合格。

进一步，所述特征信息包括每一存储位内晶圆的数量。

进一步，所述预设模型通过计算机视觉模型训练或AI深度学习模型训练得到。

进一步，所述晶圆盒包括外壳、设置于所述外壳内的多个平行设置的隔板及设置于所述外壳一端的盒盖，相邻两所述隔板之间构成一个所述存储位。

进一步，所述外壳为部分透明材质或不透明材质，所述盒盖为部分透明材质或不透明材质。