[发明专利]晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法及检测系统在审
| 申请号： | 202110020067.1 | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN114740017A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 周毓婷 | 申请（专利权）人： | 富泰华工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 常云敏 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华新区观澜街道大三*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆盒内晶圆 摆放 状态 检测 方法 系统 | ||
1.一种晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供一晶圆盒，所述晶圆盒包括多个并排排列的存储位，每一所述存储位用于存储晶圆；
朝向所述晶圆盒发射光线，使所述光线穿过所述存储位和所述晶圆之间的间隙；
采集所述光线穿过所述间隙后形成的光信号并获得图像；
对所述图像进行特征信息提取；以及
将所述特征信息与预设模型的特征信息进行比对，并根据比对结果判断所述图像与所述预设模型是否一致，进而确定所述晶圆盒内晶圆的摆放状态是否合格。
2.如权利要求1所述的晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法，其特征在于，所述特征信息包括每一存储位内晶圆的数量。
3.如权利要求1所述的晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法，其特征在于，所述预设模型通过计算机视觉模型训练或AI深度学习模型训练得到。
4.一种晶圆盒内晶圆摆放状态的检测系统，其特征在于，包括：
晶圆盒，包括多个并排排列的存储位，每一所述存储位用于存储晶圆；
光源模块，设置于所述存储位的一端，所述光源模块用于朝向所述晶圆盒发出光线，使所述光线穿过所述存储位与所述晶圆之间的间隙；
图像采集模块，设置于所述存储位远离所述光源模块的一侧，所述图像采集模块用于采集所述光线穿过所述间隙后形成的光信号并获得图像；
识别模块，用于接收所述图像，并对所述图像进行特征信息提取；
判断模块，用于将所述特征信息与预设模型的特征信息进行比对，并根据比对结果判断所述图像与所述预设模型是否一致，进而确定所述晶圆盒内晶圆的摆放状态是否合格。
5.如权利要求4所述的晶圆盒内晶圆摆放状态的检测系统，其特征在于，所述特征信息包括每一存储位内晶圆的数量。
6.如权利要求5所述的晶圆盒内晶圆摆放状态的检测系统，其特征在于，所述预设模型通过计算机视觉模型训练或AI深度学习模型训练得到。
7.如权利要求4所述的晶圆盒内晶圆摆放状态的检测系统，其特征在于，所述晶圆盒包括外壳、设置于所述外壳内的多个平行设置的隔板及设置于所述外壳一端的盒盖，相邻两所述隔板之间构成一个所述存储位。
8.如权利要求7所述的晶圆盒内晶圆摆放状态的检测系统，其特征在于，所述外壳为部分透明材质或不透明材质，所述盒盖为部分透明材质或不透明材质。
9.如权利要求4所述的晶圆盒内晶圆摆放状态的检测系统，其特征在于，所述图像采集模块包括至少一图像采集器。
10.如权利要求4所述的晶圆盒内晶圆摆放状态的检测系统，其特征在于，所述光源模块包括至少一光源，所有所述光源发出的所述光线覆盖所有所述存储位。
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